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檢測氣體：硅烷 檢測范圍：0～1ppm、50ppm、100%LEL可選 分 辨 率：0.01ppm、0.1%LEL 檢測方式：擴散式、泵吸式 顯示方式：LCD液晶背光顯示 檢測精度：±2%.FS 手提式硅烷分析儀

檢測氣體：硅烷（SiH4） 檢測方式：固定、在線檢測，擴散式測量、泵吸式、流通式可選 檢測原理：電化學式 測量方式：擴散式、泵吸式、流通式可選 測量范圍：0-1ppm、50ppm 分辨率 ：0.001ppm、0.01ppm，固定式硅烷檢測帶聲光報警一體機